Processenheter är tekniska system som är undersystem till ett funktionellt system.
Exempel på en processenhet är en tank, basäng eller ett rörsystem som transporterar ett media.
En rekommendation är att tekniska system bör innehålla 5 till 25 underliggande objekt.
Är det färre än 5 underliggande objekt bör det övervägas om det tekniska systemet verkligen behövs.
Om det är fler än 25 objekt bör det övervägas om det tekniska systemet kan delas upp i flera tekniska system.